技术参数：
分辨率
15nm (30kv, se image)
20nm (30kv, bse image)
放大倍率
30x~60,000x
加速电压
5kv to 30kv (5kv/10 kv /15kv/20kv/30 kv -5 step)
图像检测
二次电子图像-(sei)-secondary electron image
背散射电子图像(bsei)-backscattered electron image
* multi detector (sei+bsei)
观察模式
standard mode
charge-up reduction mode
电子q系统
灯丝类型
预对中钨灯丝
偏压系统
自动偏压方式
电子q校正
手动方式
透镜构成
聚光镜
2段式磁线圈透镜
物镜
1段式磁线圈透镜
探测器类型
se detector/ bse detector
载物台系统
自动或者手动
载物台移动
3轴操控
图像偏移
image shift x, y image shift (±150um)
样品尺寸
高度30mm时直径70mm
图像扫描
扫描: 320x240 (scan time: 0.1 sec.)
低速扫描 : 640x480 (scan time: 3 sec.)
图片模式1: 1280x960 (scan time: 30sec.)
图片模式2: 2560x1920 (scan time: 60sec.)
图片模式3: 5120x3840 (scan time: 120sec.)
自动功能
自动启动，自动聚焦，自动亮度对比度调节
图像存储格式
bmp, jpeg, png,tiff
数据显示
放大倍率，探测器类型，电压，真空模式，logo(text)，date and time，text marker，比例尺等
真空系统
全自动型/高真空模式+低真空模式
（旋转式机械泵）rotary pump/100liters/min
（涡轮式分子泵）turbo molecular pump/ 70liters/sec
抽真空时间：2分钟以内
操控系统
鼠标和键盘
pc：台式电脑（desk top）
os : microsoft windows 7
cpu : intel coretm i5 or high version
memory / hdd : 4gb / 500gb or high version
usb 2.0
软件
图像文件打开，编辑，存储功能长度，面积，角度等测量功能,设置数
初始化，图像拍摄模式转换，archives, setting(eds)模式等
体积
设备主机-410(w)×660(d)×600(h)mm
外置真空泵-400(w)×160(d)×340(h)mm
重量
105kg
设备环境
温度：15℃~30℃
湿度：70% or less
电源：single phase 100~240v ac, 1kw, 50/60hz

---

深圳市善时仪器有限公司
13530180512