- 产品等级：分析纯
- 执行质量标准：GGG
- CAS：GGG
1%ph3+h2 1+/-0.03% ph3: 6n h2o≤0.1，co2≤0.1，n2≤0.1，o2+ar≤0.2，ash3≤0.1,，thc≤0.1 48.8l cga350 100kgf/cm2 h2:o2+ar≤0.1,n2≤0.1,co≤0.1,co2≤0.1,thc≤0.1,h2o≤0.1 440l diss632 作用 在电子气家族中，硅烷、磷烷、硼烷、砷烷应用量较大，是ic制造极为重要的原料。其中的磷烷是半导体器件制造中的重要 n型掺杂源，同时磷烷还用于多晶硅化学气相沉淀、外延 ga p材料、离子注人工艺、mo c v d工艺、磷硅玻璃(psg)钝化膜制备等工艺中。 ph3 ，易燃、易爆、剧毒，其毒性 数为：pel/tlv 0.3×10， stel1×10，lc5020×1o，zdlh200×10，属剧毒危害品。
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胡源
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