电容法仅在薄导电体的绝缘覆层测厚时采用。随着技术的日益进步,特别是近年来引入微机技术后,采用x射线镀层测厚仪 向微型、智能、多功能、高精度、实用化的方向进了一步。测量的分辨率已达0.1微米,精度可达到1%,有了大幅度的提高。它适用范围广,量程宽、操作简便且价廉,是工业和科研使用最广泛的测厚仪器。镀层测厚仪是将x射线照射在样品上,通过从样品上反射出来的第二次x射线的强度来。测量镀层等金属薄膜的厚度,因为没有接触到样品且照射在样品上的x射线只有45-75w左右,所以不会对样品造成损坏。同时,测量的也可以在10秒到几分钟内完成。
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