分辨率
15nm(30kv，se image)  20nm (30kv，bse image）
放大倍率
30倍—60000倍可调
加速电压
5kv、10kv、15kv、20kv、30kv，5档可选
图像检测
二次电子图像（se）、背散射电子图像（bse）、multi detector (se+bse)
灯丝类型
预对中钨灯丝
偏压系统
自动偏压方式
电子q校正
手动方式
聚光镜
2段式磁线圈透镜
物镜
1段式磁线圈透镜
探测器类型
se detector/bse detector
载物台控制方式
自动或者手动可选
载物台移动
3轴或5轴控制可选，x，y—axis:35mm r—axis:360°
图像偏移
image shift x,y image shift (±150um)
样品尺寸
高度30mm时直径70mm
图像扫描
扫描：320x240，低速扫描：640x480，图片模式1：1280x960，图片模式2：2560x1920，图片模式3：5120x3840
自动功能
自动启动、自动聚焦、自动亮度对比度调节
图像存储格式
bmp, jpeg, png, tiff
图片显示数据
放大倍率、探测器类型、加速电压、真空模式、比例尺、logo，日期和时间
真空系统
全自动型、高真空模式+底真空模式，（旋转式机械泵）100liters/min，（涡轮式分子泵）70liters/sec，抽真空时间在2分钟以内
电脑配置要求
台式电脑:鼠标、键盘、光驱、运行内存不低于4gb，硬盘不低于500gb，usb2.0接口，cpu在intel core tm i5以上，系统在微软windows 7以上
sense软件
图像文件打开，编辑，存储功能，长度，面积，角度测量功能，设置参数初始化，图像拍摄模式转换等
外观尺寸（w×d×h）
设备主机:410×660×600mm,控制主机：410×290×520mm真空泵：400×160×340mm
总重量
98kg
运行环境
温度：15℃~30℃，湿度：不高于70%，电源：单相100—240v ac，功率：1kw，50/60hz

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