无尘室亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。那么关于无尘室有五个特性是什么呢？下面就由我为大家详细说明：
1.耐久性:
无尘室要有符合环境、无尘室内部的清洗溶液及振动、设备、空气过滤系统的耐久材料。而耐久性，同时也依赖无尘室等级来建造。半导体倾向选择铝，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物质。
2.清洗:
在生物工学工业，无尘室的墙壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止滤过性细菌的污染之特性。
3.成本:
微电子建设费可能花费到$10亿。fab能更快的被建造起来，产品也就能更快达到这市场。 许多半导体公司的口号是较便宜和较好的。然而 钱 将成为一个很重要的考虑因素。
4.适应性:
一些厂商认为适应性可节省一笔金钱，而适应性意指系统可任意移动或改变而不会招致很大的损失。
5. 维护性:
对无尘室而言，较严格要求的部分为地板、天花板，以及墙壁的部分。至于维修的问题，对材料的选择是否容易清洁性及维修性都应有其优先级。在应用力面，天花板、地板及墙壁三者之中最重要的为天花板，其包含　hepa及　ulpa等滤网，其可过滤掉房间的微粒子，且其常会因各个不同的需要，便其分开来，供应各个不同区域的小房间，曾有人说 :若建造之预算因某种原因被限制，除了少数的小钱外，其天花板将趋于更贵的地步，其实天花板是一个颇复杂的系统其必须严格地过滤粒子，故其设计必须准确。

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