等离子清洗需要控制的真空度约为100Pa，这种清洗条件很容易达到。因此这种装置的设备成本不高，加上清洗过程不需要使用价格较为昂贵的有机溶剂，这使得整体成本要低于传统的湿法清洗工艺；
等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。
真空等离子清洗机技术作为一种新型的材料表面改性方法，以等离子清洗机低能耗、污染小、处理时间短、效果明显的特点引起了人们的关注。等离子清洗机在众多的改性方法中，低温等离子清洗机是近年来发展较快的方法，等离子清洗机与其他方法相比有很多优点。